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當(dāng)前位置：上海精釗機(jī)械設(shè)備有限公司>>管式爐>>PECVD管式爐>> GLJZ1200PECVD管式爐
PECVD管式爐GLJZ1200技術(shù)參數(shù)如下:
| 1 | 產(chǎn)品名稱(chēng) | 1200℃ 開(kāi)啟式管式爐 |
| 2 | 產(chǎn)品型號(hào) | GZJZ1200 |
| 3 | 爐膛模式 | 開(kāi)啟式 |
| 4 | 顯示模式 | 高亮度LED數(shù)碼管 |
| 5 | 爐膛材料 | 氧化鋁纖維 |
| 6 | 加熱元件 | 摻鉬的鐵鉻鋁合金加熱絲(OCr27Al7Mo2) |
| 7 | 極限溫度 | 1200℃ |
| 8 | 工作溫度 | ≤1150℃ |
| 9 | 升溫速率 | ≤20℃ (建議:10℃/min) |
| 10 | 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū) |
| 11 | 溫區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm |
| 12 | 恒溫區(qū)長(zhǎng) | 260mm |
| 13 | 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
| 14 | 爐管直徑 | 60mm（爐管內(nèi)徑：54mm） |
| 15 | 爐管長(zhǎng)度 | 1000mm |
| 16 | 密封方式 | 真空法蘭 |
| 17 | 氣 密 性 | 9.8×10-4Pa |
| 18 | 控制模式 | 智能PID |
| 19 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 20 | 溫度曲線(xiàn) | 30段"時(shí)間—溫度曲線(xiàn)"任意可設(shè) |
| 21 | 超溫報(bào)警 | 有 |
| 22 | 過(guò)流保護(hù) | 有 |
| 23 | 斷偶提示 | 有 |
| 24 | 測(cè)溫元件 | K型熱電偶 |
| 25 | 供電電源 | 220V 50Hz |
| 26 | 額定功率 | 3.2KW |
| 27 | 外形尺寸 | 630×470×610 mm |
| 28 | 售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保，終身保修 |
| 29 | 包裝形式 | 三合板木質(zhì)包裝箱 |
| 30 | 隨機(jī)配件 | 石英爐管;真空法蘭;爐管堵塞;O型密封圈;防護(hù)手套;坩堝爐鉤;說(shuō)明書(shū) |
GLJZ1200真空泵配置：
商品簡(jiǎn)述：
該系統(tǒng)真空部分由高速直聯(lián)（電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)）雙級(jí)旋片油封式變?nèi)菡婵毡?，及外圍真空組件連接而成，可作為中、低真空系統(tǒng)的主抽泵，也可作為羅茨泵、擴(kuò)散泵、分子泵等中高真空、超高真空系統(tǒng)的前級(jí)泵。并配有油霧過(guò)濾器及防反油裝置。
主要特點(diǎn)：
1.內(nèi)裝強(qiáng)制油泵，潤(rùn)滑充分，性能可靠；
2.防止返油機(jī)構(gòu)可靠，不返油；
3.運(yùn)行在氣鎮(zhèn)時(shí)，仍保持高的真空；
4.抽除水蒸氣能力強(qiáng)；
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | CHY-4C | ||
| 抽速 | 50Hz | 4(1.1) | |
| m/h(L/s) | 60Hz | 4.8(1.3) | |
| 極限分壓強(qiáng)-無(wú)氣鎮(zhèn) | 5×10-2 | ||
| （Pa） | |||
| 極限總壓強(qiáng)-無(wú)氣鎮(zhèn) | 5×10-1 | ||
| （Pa） | |||
| 極限總壓強(qiáng)-有氣鎮(zhèn) | 3 | ||
| （Pa） | |||
| 電源 | AC220V | ||
| 電機(jī)功率 | 0.4/0.37 | ||
| （KW） | |||
| 進(jìn)排氣連接口 | KF16/25 | ||
| DN(mm） | |||
| 用油量 | 0.6～1 | ||
| （L) | |||
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 50Hz | 1440 | |
| （rpm） | 60Hz | 1720 | |
該款浮子流量計(jì)主要用于氣體流量測(cè)試，并按比例混合氣體，為真空管式爐或手套箱營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | 四路浮子氣體配比器 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | CHY-4F |
| 流量計(jì)類(lèi)型 | 浮子流量計(jì) |
| 流量計(jì)管芯 | 304不銹鋼 |
| 管道常態(tài) | 常閉 |
| 流量計(jì)外殼 | 有機(jī)玻璃 |
| 氣體種類(lèi) | 4種 |
| 接口尺寸 | 1/4" |
| 壓力范圍 | -0.1-0.15 MPa |
| A路氣體測(cè)量范圍 | 10～100ml |
| B路氣體測(cè)量范圍 | 16～160ml |
| C路氣體測(cè)量范圍 | 25～250ml |
| D路氣體測(cè)量范圍 | 60～600ml |
| 流量控制范圍 | 2%～100% |
| 工作環(huán)境溫度 | (15～50℃) |
| 精度保證溫度 | (15～35℃) |
| 外形尺寸 | L700×W600×H580 |
| 設(shè)備重量 | 43kg |
